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当社の特許が「令和6年度関東地方発明表彰」にて表彰を受けました

キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社が保有する特許が、公益社団法人発明協会が主催する「令和6年度関東地方発明表彰」において、当社として初めて「茨城県発明協会会長賞」を受賞しました。

公益財団法人発明協会が主催する「地方発明表彰」は、地方における発明の奨励・育成を図り、科学技術の向上と地域産業の振興に寄与することを目指して、1921年に創設された、伝統ある賞です。日本全国8地方で表彰が行われています。

表彰

今回、「茨城県発明協会会長賞」を受賞した「省エネと高精度温度制御を両立した冷却装置(特許第6987988号)」は、蒸発器を直列に接続して複数の対象を冷却可能な冷却装置において、蒸発器から流出する冷媒の相状態を一定に保ちながら、他の温調機器を用いずに、ホットガスバイパスにより冷却システム単体で精密温調機能を実現したものです。この発明は、半導体露光装置をはじめとした産業機器に利用可能です。

キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社は、今後も、独創的な技術の創出を通じて、社会の発展に貢献します。